不銹鋼真空腔體
· Ferrotec真空事業部不銹鋼腔體月產可突破350臺以上；
· 現有最大體積可達5185mm長*2100mm寬*2330mm高；
· 擁有美國ASME及GB鍋爐和壓力容器規范D1和D2資格認證。
不銹鋼腔體具有優良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導電率和導熱率低、真空度處于0.1-10-5Pa之間，能夠在-270—900℃工作等優點。加工過程中必須要求：焊接縫在腔內、腔內400目拋光、腔體進行電解拋光。
不銹鋼腔體主要由SUS304或SUS316材料氬弧焊接而成，廣泛應用于PVD,PECVD,CVD,MOCVD,OLED,刻蝕設備及低溫制冷行業。
