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噴淋頭
Shower head
噴淋頭Shower head
噴淋頭，被廣泛應用半導體集成電路制造過程中的PVD、CVD、PECVD、刻蝕等工藝流程中，是各類氣體分配過程中的關鍵零部件。
產品具有高精度、高清潔度、多重-復合表面處理（如噴砂/陽極氧化/刷鍍鎳/電解拋光等集一體）等特征。
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噴淋頭產品手冊
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聯系電話：
021-31340912
E-mail：
linq@ferrotec.com.cn
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生產能力
機加工能力：公司規劃不同尺寸的高精度加工設備140余臺，分為三期投產。機加工精度可控制在2微米以內、可實現多品種、多規格的SHower head的批量性生產加工；
檢測能力：公司具備多種高精密檢測設備，包括三坐標、影像儀、平面儀等，提供快速高效的檢測手段，同時可實現各品種的逆向開發工程。
焊接能力：公司具備全類型的焊接設備，可實現電子書焊接、攪拌摩擦焊接、擴散焊接、真空釬焊接，并且具備焊接缺陷分析能力。
Matrix diagram of applications in various fields
各領域的應用之矩陣圖
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其他行業
真空技術相關
噴淋頭
半導體制造過程中的PVD、CVD、PECVD、刻蝕等工藝流程
該產品的生產基地
杭州大和熱磁電子有限公司
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