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噴淋頭
Shower head
噴淋頭
噴淋頭Shower head
Showerhead,中文名稱為噴淋頭或者氣體分配盤/勻氣盤,是一種廣泛應用于半導體制造工藝中的氣體分配裝置。產(chǎn)品主要包括Showerhead、faceplate、block plate、Top Plate、shield、Liner,Pumping plate, Edge Ring等半導體設備核心零部件。
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噴淋頭產(chǎn)品手冊
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聯(lián)系電話: 021-31340912
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生產(chǎn)能力
生產(chǎn)能力
機加工
公司分階段引入140余臺高精度加工設備,旨在打造高效精密的Showerhead生產(chǎn)體系。這些頂尖設備加工性能卓越,能實現(xiàn)高精度和細孔加工,滿足多品種、多規(guī)格Showerhead的批量化生產(chǎn)需求。
焊接
公司打造了綜合焊接技術平臺,涵蓋電子束焊、攪拌摩擦焊、真空擴散焊及真空釬焊等高端工藝,適配多樣材料與規(guī)格的產(chǎn)品焊接。配備專業(yè)焊接缺陷分析系統(tǒng),精準檢測評估焊接隱患,確保每件產(chǎn)品焊接品質卓越。
表面處理
公司在表面處理領域擁有深厚技術積累與創(chuàng)新精神,通過物理拋光、噴砂、化學清洗、陽極氧化、刷鍍鎳、陶瓷熔射及特氟龍涂層和凈化室最終清洗等工藝流程,確保產(chǎn)品在耐磨、耐腐蝕、導電以及潔凈等性能卓越,為半導體及高科技行業(yè)提供高品質表面處理解決方案。
檢測能力
公司配備了多種高精度的檢測設備,如三坐標測量儀、影像測量儀和平面度檢測儀等,提供迅速且高效的檢測服務。此外,我們還具備實現(xiàn)各類產(chǎn)品逆向開發(fā)工程的能力。
噴淋頭產(chǎn)品系列
Type A Shower Head
Type B  Shower Head
Type C Shower Head
Shower Head 周邊零部件
Matrix diagram of applications in various fields
各領域的應用之矩陣圖
半導體相關
噴淋頭

半導體制造過程中的PVD、CVD、PECVD、刻蝕等工藝流程

該產(chǎn)品的生產(chǎn)基地
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