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精密石英
Thermoelectric semiconductor cooler
Ferrotec 精密石英

精密石英

Ferrotec(中國)精密石英采用高品質(zhì)進(jìn)口原材料,經(jīng)過一系列的先進(jìn)加工工藝處理而成,歷經(jīng)20余年的研發(fā)生產(chǎn),F(xiàn)errotec可批量生產(chǎn)12",8"以及8"以下半導(dǎo)體裝置用石英制品,并具備下一代18"石英產(chǎn)品的研發(fā)能力。同時(shí)能夠根據(jù)客戶要求選用合適的原材料進(jìn)行加工生產(chǎn)。
精密石英分類
Ferrotec(中國)為滿足客戶需求,可生產(chǎn)多種多樣的石英產(chǎn)品,依托精密的加工技術(shù)、焊接技術(shù)、表面處理(洗凈)技術(shù)三大核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)以及具有全球化視野的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)支持,為客戶量身打造高品質(zhì)產(chǎn)品。
石英管類
石英管類
主要包括反應(yīng)管,內(nèi)管,外管,爐管,噴射管等產(chǎn)品;主要應(yīng)用于半導(dǎo)體擴(kuò)散、氧化、成膜、熱處理等硅片表面處理工藝設(shè)備,對(duì)裝配尺寸、潔凈度、密封度有較高的要求。
石英舟類
石英舟類
分為5寸,6寸,8寸,12寸各類規(guī)格舟,應(yīng)用于各類表面處理工藝設(shè)備、濕法洗凈工藝中,舟類產(chǎn)品直接裝載硅片,并大多應(yīng)用于自動(dòng)上下片工藝中,所以石英舟的尺寸精度和潔凈度非常重要。
石英機(jī)加工類
石英機(jī)加工類
包括各種環(huán)、圓盤等產(chǎn)品,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片刻蝕、沉積等工藝,對(duì)尺寸精度、潔凈度、外觀狀態(tài)等方面的要非常高,部分產(chǎn)品不允許返修,必須一次成型,所以對(duì)加工能力要求高。
石英治具類
石英治具類
主要有裝載盤、底座、封蓋等產(chǎn)品;應(yīng)用于各種半導(dǎo)體處理工藝的輔助設(shè)備中,其精度視應(yīng)用的工藝而定。
石英洗凈類
石英洗凈類
包括石英槽、石英支架等產(chǎn)品,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體濕法洗凈工藝,精度相對(duì)不高,但對(duì)外觀、潔凈度有較高的要求。
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聯(lián)系電話: 0571-86698292
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耐熱性
耐熱性
透光性
透光性
高純度
高純度
電氣絕緣
電氣絕緣
化學(xué)穩(wěn)定
化學(xué)穩(wěn)定
Ferrotec精密石英優(yōu)點(diǎn)
耐熱性、透光性、高純度、電氣絕緣、化學(xué)穩(wěn)定高。高精度的石英制品不僅為300nm半導(dǎo)體芯片制程提供可靠保障,也能滿足太陽能光伏行業(yè)在擴(kuò)散制程中對(duì)低鐵、低銅的要求,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體擴(kuò)散刻蝕工藝、光纖預(yù)制棒加工、LED照明制造及太陽能光伏等工業(yè)領(lǐng)域。
Matrix diagram of applications in various fields
各領(lǐng)域的應(yīng)用之矩陣圖
半導(dǎo)體相關(guān)
精密石英

半導(dǎo)體晶圓制作擴(kuò)散,刻蝕等工藝;

半導(dǎo)體晶圓濕法洗凈工藝;

半導(dǎo)體硅片外延EPI等工藝;

LED制作外延MOCVD,芯片工藝;

光纖預(yù)制棒:制造過程中的爐心管、噴燈,配套緊固件;

該產(chǎn)品的生產(chǎn)基地
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