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Thermoelectric semiconductor cooler
Ferrotec（中國）單晶爐
在惰性氣體環(huán)境中，用石墨加熱器將保存在石英坩堝內(nèi)的多晶硅等多晶材料高溫熔化，再將籽晶放入變成液體的硅溶液里按自動程序用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備, 可控制整體裝料量，全自動控制拉晶過程, 全面數(shù)字化管理，采用中央集中控制系統(tǒng),減少了人為因素的參與，保證質(zhì)量穩(wěn)定性。
單晶爐分類
Ferrotec（中國）自主研發(fā)的半導(dǎo)體用單晶爐，采用龍門式框架結(jié)構(gòu)，穩(wěn)定性好剛性強，驅(qū)動裝置采用電動、氣動方式，光軸潤滑采用自潤滑軸承，避免油脂污染，全自動控制拉晶過程，嵌入長晶控制系統(tǒng)，整合功率器件用超低電阻率單晶量產(chǎn)技術(shù)，采用超導(dǎo)體磁場，可拉制8/12英寸晶棒。 不同型號的單晶爐在設(shè)備運作效率、機械部件結(jié)構(gòu)等方面各有差異。
太陽能級單晶爐FT-CZ1200PV
硅材料級單晶爐FT-CZ1200Si/1400Si
半導(dǎo)體級單晶爐FT-CZ1200SE/1400SE
人性化設(shè)計
管理、操作及維護方便性
全自動、安全性、均一性
穩(wěn)定、潔凈
Ferrotec單晶爐優(yōu)點
穩(wěn)定、潔凈；全自動、安全性、均一性；管理、操作及維護方便性；人性化設(shè)計。焊接工藝符合日本JIS標準，柔性設(shè)計具備雙重防爆安全系數(shù)，特別增加安全泄壓閥及提升防爆系統(tǒng)；遠程控制插口可實現(xiàn)對多臺設(shè)備的集中監(jiān)控和管理；各操作參數(shù)及制程階段人機界面觸摸屏可實時顯示并修改。
聯(lián)系電話：
021-36160062
E-mail：
sales@hanhong.sh.cn
Matrix diagram of applications in various fields
各領(lǐng)域的應(yīng)用之矩陣圖
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半導(dǎo)體制造過程用；
該產(chǎn)品的生產(chǎn)基地
上海漢虹精密機械有限公司
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