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Thermoelectric semiconductor cooler
Ferrotec(中國)單晶爐
在惰性氣體環(huán)境中,用石墨加熱器將保存在石英坩堝內(nèi)的多晶硅等多晶材料高溫熔化,再將籽晶放入變成液體的硅溶液里按自動(dòng)程序用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備, 可控制整體裝料量,全自動(dòng)控制拉晶過程, 全面數(shù)字化管理,采用中央集中控制系統(tǒng),減少了人為因素的參與,保證質(zhì)量穩(wěn)定性。
單晶爐分類
Ferrotec(中國)自主研發(fā)的半導(dǎo)體用單晶爐,采用龍門式框架結(jié)構(gòu),穩(wěn)定性好剛性強(qiáng),驅(qū)動(dòng)裝置采用電動(dòng)、氣動(dòng)方式,光軸潤滑采用自潤滑軸承,避免油脂污染,全自動(dòng)控制拉晶過程,嵌入長晶控制系統(tǒng),整合功率器件用超低電阻率單晶量產(chǎn)技術(shù),采用超導(dǎo)體磁場(chǎng),可拉制8/12英寸晶棒。 不同型號(hào)的單晶爐在設(shè)備運(yùn)作效率、機(jī)械部件結(jié)構(gòu)等方面各有差異。
太陽能級(jí)單晶爐FT-CZ1200PV
硅材料級(jí)單晶爐FT-CZ1200Si/1400Si
半導(dǎo)體級(jí)單晶爐FT-CZ1200SE/1400SE
人性化設(shè)計(jì)
管理、操作及維護(hù)方便性
全自動(dòng)、安全性、均一性
穩(wěn)定、潔凈
Ferrotec單晶爐優(yōu)點(diǎn)
穩(wěn)定、潔凈;全自動(dòng)、安全性、均一性;管理、操作及維護(hù)方便性;人性化設(shè)計(jì)。焊接工藝符合日本JIS標(biāo)準(zhǔn),柔性設(shè)計(jì)具備雙重防爆安全系數(shù),特別增加安全泄壓閥及提升防爆系統(tǒng);遠(yuǎn)程控制插口可實(shí)現(xiàn)對(duì)多臺(tái)設(shè)備的集中監(jiān)控和管理;各操作參數(shù)及制程階段人機(jī)界面觸摸屏可實(shí)時(shí)顯示并修改。
聯(lián)系電話:
021-36160062
E-mail:
sales@hanhong.sh.cn
Matrix diagram of applications in various fields
各領(lǐng)域的應(yīng)用之矩陣圖
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單晶爐
半導(dǎo)體制造過程用;
該產(chǎn)品的生產(chǎn)基地
上海漢虹精密機(jī)械有限公司
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