根據IC Insights 2021年O-S-D報告（光電器件、傳感器/驅動器和分立器件市場分析和預測），預計2021年制造的MEMS傳感器和驅動器將增長約16%，高達創紀錄的159億美元，2020年增長11%。
基于MEMS的壓力傳感器、麥克風芯片、加速計、陀螺儀設備和驅動器的總銷售額預計將以每年兩位數的百分比增長，直至2024年，屆時下一輪周期性經濟放緩預計將使增長率降至4%，隨后在2025年反彈9%。
2020年下半年，基于MEMS的傳感器/驅動器產品的復蘇增長迅猛，制造商在看到關鍵終端市場出現穩定和復蘇跡象后，迅速開始補充庫存。
2020年至2025年間，基于MEMS的傳感器和驅動器的銷售額預計將以11.8%的復合年增長率增長至241億美元，出貨量將以13.4%的復合年增長率增長至321億臺.
每年銷售的半導體傳感器和幾乎所有的驅動器中，約有一半包含MEMS傳感器結構和電路功能，以在終端應用中執行其工作。
2020年，在總價值165億美元的傳感器/驅動器市場中，約83%的銷售額來自采用MEMS技術制造的設備。
在2020年全球出貨的309億個傳感器和驅動器中，約55%包含MEMS。
基于MEMS的傳感器和驅動器每年約有44%的銷售額來自汽車應用。