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セラミックス
セラミックス
フェローテック(中國)はセラミックス技術を基に、石英、セラミックス、シリコンパーツなどの半導體用の新材料を生産しています。
技術発展路線 ファインセラミックス 高精度シリコン製品 精密石英

    Ferrotec(中國)は精密石英の分野に精密加工センターが有り、レーザーカッター、ウォータージェート、LAP/POLISH等の各種先進の生産設備があります。10000クラス化學洗浄クリーンルーム及び100クラス純水洗浄室もあります。12"インチ,8"インチ及び8"インチ以下の半導體製造裝置用の石英製品を量産化することができます。また、次世代の18"インチの石英製品の研究開発能力も持っています。


    Ferrotec石英工場は顧客の要求に基づき最適な原材料を選定することが出來ます。主要な輸入材料の規格は網羅しています: MOMENTIVE(元GE)石英株式會社124、144、214、224(弱アルカリ性)、244 (低アルミニウム成分)、へラオスHSQ330、HSQ300、TSC-3。日本TOSOH OP-1、OP-3、ドイツQSIL PI、PN等  


    高精密検査測定設備が複數臺あります。例えば、三次元測定器、スペクトル分析機、投影機、粗さ測定機、顕微鏡、厚さ測定機など。


    各種高精度高性能の加工設備が二百臺以上もあります。例えば、マシニングセンター、NC旋盤、平面研削機、ウオータージェート、レーザー切斷機、,ワイヤソ―,バンドソー、大型ラジアルボール盤、円筒機、センタレス研削機、旋盤機などの高精度汎用機。また自主開発の自動洗浄ラインも多數あります(內1ラインは世界最先端の自動洗浄ラインです)。自動精密焼成機も數種類あります。



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