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石英坩堝

純度が高く耐熱性に優(yōu)れている石英ルツボは単結(jié)晶シリコンの引き上げにおいて必要不可欠な部材です。その性能は単結(jié)晶シリコン歩留りに大きな影響を與え、Ferrotec(中國)坩堝事業(yè)部はお客様の歩留り向上のニーズに対応するため、たゆまぬ技術(shù)革新を通して、大きなブレークスルーを遂げました。我社が開発した四シリーズの石英ルツボはお客様の多様な単結(jié)晶シリコン引き上げプロセスニーズに応えられます。ルツボのサイズは、14inch?から32inchまで対応可能、お客様のニーズによってさらに大きなサイズにも対応できる技術(shù)を持っています。文を削除する後加工ラインにおいては、三年間の開発ののちに全自動の生産ラインを構(gòu)築し、石英坩堝の品質(zhì)安定に寄與しています。

ラインナップ

AQM-10シリーズ? ??內(nèi)側(cè)を透明コーティングした天然石英ルツボ。
AQM-20シリーズ??? 高純度天然石英ルツボ削除する、AQM-10製品をベースに、高純度天然砂を増やし內(nèi)側(cè)表面の純度が高い。
AQM-30シリーズ??? 合成石英坩堝、內(nèi)側(cè)表面の純度はさらに高い。ハイグレードインゴットの引き上げに適合する。
AQM-40シリーズ?? 內(nèi)側(cè)表面を結(jié)晶化させた天然石英ルツボ、リチャージプロセスに適し長時間使用可能。

AQM-10シリーズ

適用範(fàn)囲：太陽電池用単結(jié)晶シリコンの引き上げ工程。

AQM-20シリーズ

適用範(fàn)囲:半導(dǎo)體及び太陽電池用単結(jié)晶シリコンの引き上げ。主力製品：AQM-21型。

AQM-30シリーズ

用範(fàn)囲：単結(jié)晶シリコンの引き上げ。主力製品：AQM-31型。

AQM-40シリーズ

適用範(fàn)囲:半導(dǎo)體及び太陽電池用単結(jié)晶シリコンの引き上げ。主力製品:AQM-42型。

Ferrotec製石英ルツボの特徴

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Ferrotecは、純度の高い原材料を採用し、各工程において金屬イオン汚染源をコントロール削除しています。後加工ラインには自動化生産ラインとクリーンルームを?qū)毪?、製造工程における不純物汚染防止を保証し、石英坩堝の純度を確実に保証します。

內(nèi)表面高純度化

Ferrotecは、先進(jìn)的なコーティング技術(shù)を開発し、活用[削除する]しています。AQM-40型がこの先進(jìn)技術(shù)にて製造された製品シリーズです。

內(nèi)表面結(jié)晶化

少気泡化を達(dá)成するため、Ferrotecは熔融プロセス及び設(shè)備性能の向上に向けて、たゆまぬ努力しています。全ての主力製品には少気泡化加工技術(shù)が活用されています。

透明層の気泡極少化

Ferrotec製石英ルツボの特徴

透明層における気泡の極少化、內(nèi)表面結(jié)晶化及び內(nèi)表面高純度化の三つの主要技術(shù)がF(xiàn)errotecが高品質(zhì)の石英坩堝を製造できる秘訣です。透明層において気泡の極少化は、石英坩堝を長時間の引き上げを可能とします。內(nèi)表面結(jié)晶化というのは坩堝の內(nèi)表面に緻密的な結(jié)晶層を形成させることで、石英結(jié)晶物の剝離を防止し、石英坩堝とシリコン液との反応を抑制できるため、単結(jié)晶シリコンの歩留りを改善可能です。內(nèi)表面高純度化は坩堝の內(nèi)表面にクリストバライトが発生しにくくし、単結(jié)晶シリコンの結(jié)晶化へは影響がありません。

Matrix diagram of applications in various fields

領(lǐng)域別の適用のマトリクス図

半導(dǎo)體関係

石英坩堝

半導(dǎo)體の製造に使用される；

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