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ファインセラミックス

Ferrotec(中國)で生産する主な??????????は、高融點の酸化物、炭化物、窒化物等の焼結材料で、その原材料は人工合成あるいは化學的に抽出された原材料を基に、超精密な微細粉末（サブミクロン及びナノミクロンの粉末）を造り出し、超高溫高圧の焼結をして製作されます。

ファインセラミックスの分類

Ferrotecのセラミックス製品は主に炭化珪素??????、窒化?????????、??????????、窒化珪素??????、????????????等５種類の異なる焼結材料が有り、機械特性、熱特性、電気特性について材料それぞれの優れた特性を持っています。

炭化珪素セラミックス(SiC)

炭化珪素はダイヤモンドと炭化ホウ素に次ぐ硬度を有し、耐熱性、耐摩耗性において他のセラミックスス材料に勝る特性を発揮します。特に高溫度域(1700℃)まで強度低下が無く、高溫構造材料として広く使用されています。主な用途は半導體製造裝置用部品やバーナーノズル等です。

窒化アルミセラミックス(ALN)

高純度窒化アルミセラミックスは卓越した熱伝導性、絶縁性、耐熱性、及び耐熱衝撃性を有していることから、放熱耐熱材料として用いられ、半導體エッチング裝置類に広く使用されています。

アルミナセラミックス(AL2O3)

高純度アルミナセラミックは絶縁性、耐摩耗性、耐酸耐アルカリ腐食性、耐熱性に優れ強度も高く、半導體分野、醫療分野、液晶分野、新エネルギー分野で広く使用されています。我々の開発した低LLT高純度アルミナセラミックスは、とても優れた低誘電損失特性を有しており、業界トップの技術レベルを持っています。

窒化珪素セラミックス(Si3N4)

窒化珪素セラミックスはアルミナに比べ高溫強度、耐熱衝撃性に優れており、熱負荷に耐える構造材料として広く使用されています。主な用途は半導體製造裝置用部品、バーナーノズル、溶接冶具等です。

ジルコニアセラミックス(ZrO2)

高純度ジルコニアセラミックスは特に優れた強度と靭性及び耐摩耗性と耐高溫性能を有しており、加えて耐酸耐アルカリ腐食性も備えていることから、主に高溫や高酸、高アルカリ、高強度の環境下で使用されています。

Matrix diagram of applications in various fields

領域別の適用のマトリクス図

半導體関係

ファインセラミックス

半導體エッチング設備、MOCVD設備、PECVD設備；

イオン注入裝置、フォトエッチング裝置、ウェーハ研磨裝置；

LED液晶表示設備の中の真空裝置部品及び機械組立部品；

光ファイバー用セラミックフェルール；

セラミックスリーブ；

ポンプ及びバルブ部品；

耐磨耗パーツ；

切削ツール；

セラミック製絶縁斷熱部品；

センサー用絶縁スリーブ；

軸受及び軸受筒；

耐磨耗斷熱部品；

セラミックバルブ；

セラミックティース；

全人工股関節置換術；

醫療用ツール（使い捨て及び重複利用のセラミックメス）；

ナノマテリアルによって製造：研磨スリーブ、セラミック製ディスク、セラミック製タービン；

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