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Ferrotec（中國）単結晶爐
不活性ガスの雰囲気中で、石英ルツボ內に多結晶シリコンをチャージした狀態を、獨自設計のホットゾーンを用い、真空高溫下で溶融します。製造方式はCZを採用し、全ての工程は自動制御で実施可能により、品質の安定性、人材の低減及び人的ミスを減らす事から可能です。また、集中管理システムを採用する事に依り、自動的に管理データの収集、分析を実現します。
単結晶爐分類
Ferrotec（中國）自主開発した単結晶引上裝置、特に半導體用途の裝置は門型構造を採用する事に依り、剛性を高めた事に依り、運転時の裝置安定性が極めて高いです。駆動系は電動/エアー方式を採用、コラムの駆動に関しては軸受にオイルレス機構を採用している事から、汚染を抑える事が可能です。また、超電導マグネットを搭載する事に依り、8/12インチ結晶の品質を効率良く高める事が可能です。シリーズには異なるモデルがあり、必要用途に合わせた選択を可能としています。
ソーラー結晶用途単結晶爐FT-CZ1200Pv
シリコン構造材用途単結晶爐FT-CZ1400Si
半導體用途単結晶爐FT-CZ1200Se/1400Se
人間的デザイン
管理、操作およびメンテナンスの利便性
全自動、安全性、均一性
安定、清潔
Ferrotec単結晶爐利點
安定、清潔,全自動、安全性、均一性、管理、操作およびメンテナンスの利便性、人間性の設計；溶接技術は日本のJIS規格を採用し、チャンバーを二重構造の水冷式設計を行って降り、圧力変化等の異常時に於いても、リリーフ弁、及び裝置構造により安全を確保します。各裝置には、集中管理システム用の接続コネクターを裝備している事から採用する事に依り集中監視/管理を行う事が出來ます。
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単結晶爐パラメータ
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Matrix diagram of applications in various fields
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半導體関係
単結晶爐
半導體の製造に使用される；
製品の生産拠點
上海漢虹精密機械有限公司
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