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ビッグウェーハ技術
ビッグウェーハ技術
フェローテック(中國)の12インチのビッグウェーハ技術(特に単結晶引き上げ技術やポリッシング技術)の突破により、ウェーハの生産キャパーをさらに向上させ、300mmの半導體ウェーハを月産20萬枚という目標を少しずつ実現しています。
ビッグウェーハ技術
Wafers for Semiconductor
技術発展路線 技術的設備能力 生産プロセス
Ferrotec(中國)は2002年に東芝セラミックスから先進的な100-150mmウエハーの生産ライン、加工技術及び管理システムを導入し、生産量は40萬枚/月に達しました。

その上、技術の導入、吸収及び、革新を通して、知的財産権があり40-16nmレベルの8インチ半導體ポリッシュウエハーの技術が研究開発されて、日本半導體用ウエハー加工裝置を使い、例えば、3-wayラップ機、キャリアレスファイナル洗浄裝置、AGV搬送システム、天井搬送システムなど、貼り付けから、研磨、剝離までの一貫全自動ポリッシュラインが導入され、Ferrotec(中國)自主的に研究開発した引き上げ爐を使って、さらに、生産能力を向上させました。徐徐に8"、12"など大口徑ウエハーの生産能力を備えつつあります。世界でも最高級の大口徑半導體ウエハー産業、研究革新と開発基地の建設を実現し、中國內始めての同時に200mm半導體ウエハー45萬枚/月、300mm半導體ウエハー20萬枚/月を提供するメーカーになることを目指しています。


我々のウエハーは抵抗、平坦度、パーティクル、COP、金屬汚染など様々の面で管理されていて、メモリやロジック、パワーデバイス、センサーなど領域で使用されています。直接CMOS、EPI、SOI、MEMSなどの基盤として使用可能であり、中國內半導體IC産業、自動車、コンピュータ、通信、消費電子、工業、醫療、政府、國防だど領域は8"及び12"半導體ウエハーに対する需要を埋め合わせます。國內市場ウエハー供給の安全性とIC産業構造の整合性及び安定性を保証し、中國半導體産業の発展に重要な意味があります。


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